萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備順利完成出廠驗收工作
半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要經(jīng)過8個主要工序。超純水主要用于半導(dǎo)體制造中某些工序前后的清洗。例如,在蝕刻工藝之后,切割晶圓并用超純水清洗殘余碎片?;蛘?,在離子注入過程之后,清潔殘余離子。此外,超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切割。
超純水是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體生產(chǎn)中使用超純水會有什么影響呢?在用納米超精細工藝處理半導(dǎo)體時,如果在各種工藝前后留下一個小顆粒,則會導(dǎo)致誤差。因此,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以確保清潔度并提高半導(dǎo)體生產(chǎn)率(輸出)。
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴格。由于超純水在許多指標上對半導(dǎo)體的要求很高,因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有極其嚴格的水質(zhì)要求。目前,我國常用的超純水標準有國家標準《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會使n型硅反轉(zhuǎn),從而影響電子和空穴的濃度。因此,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標中e1.3中要求小于0.05。如果硼離子含量能夠達到較低的指標,則必然會提高半導(dǎo)體的性能。
Huncotte系統(tǒng)選用核級樹脂,可通過獨特的靶向離子交換樹脂有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測硼離子含量,并對硼離子流出物進行分析≤ 0.005μG/L遠低于美標E1.3中要求的硼離子含量。
今日,萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備已出廠驗收。萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備解決了空間限制,安裝方便、體積小、操作簡單。
目前,在水資源緊缺的情況下,加強海水淡化的國產(chǎn)化技術(shù)研發(fā),在水資源再利用方面,推廣海水淡化設(shè)備顯得尤為重要,并且現(xiàn)代海水淡化設(shè)備也漸漸步入了現(xiàn)代這個快速發(fā)展的時代,其有效性和可靠性也越來越被人們所認可。
集裝箱式海水淡化設(shè)備的優(yōu)勢如何?
1、集裝箱式海水淡化設(shè)備采用反滲透分離技術(shù)進行海水淡化脫鹽,工藝流程和操作參數(shù)通過計算機進行優(yōu)化設(shè)計。
2、海水淡化脫鹽工藝無需海水加溫,運行于常溫下,無相變現(xiàn)象,因此能耗低,制水成本低。
3、設(shè)計時充分考慮船舶的特殊性,體積小,重量輕,占用省、安裝方便、適應(yīng)性強,可在狹小的艙室內(nèi)安裝。機架管路、管件采用316不銹鋼及耐蝕材料制作。
4、集裝箱式海水淡化設(shè)備操作簡單,維修方便,只要有電、有海水,啟動后就能立即提供淡水。
萊特萊德集裝箱式海水淡化設(shè)備采用超濾膜裝置對海水進行預(yù)處理,然后把含有鹽類的海水通過反滲透裝置加壓,除去海水中所含鹽、菌等有機物質(zhì),并進行殺菌處理。同時也能緩解偏遠地區(qū)居民對飲用水的需求。
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