半導體純水系統(tǒng)技術應用 成為行業(yè)用水重中之重
半導體行業(yè)是一個高能耗的行業(yè)。在半導體產(chǎn)品制造過程中,由于生產(chǎn)設備的精密性和生產(chǎn)工藝的復雜性,對其配套設施提出了很高的要求,尤其對超純水系統(tǒng)的使用要求更高。
在半導體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需要進行化學處理,而化學處理又與超純水有關水中的雜質會進入硅片,如帶入過量的雜質,就會導致器件性能下降、影響產(chǎn)品性能。因此,制備高品質的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技術。
超純水既將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm,或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。
超純水處理是一般工藝很難達到的程度,萊特萊德采用預處理、反滲透技術、靶向離子交換系統(tǒng)以及后級處理四大步驟,獨有的靶向離子交換系統(tǒng)針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,保證出水硼離子能夠穩(wěn)定≤5ppt。
半導體業(yè)由于技術發(fā)展迅速、市場變化大,其生產(chǎn)能力具有波動性。所以,要求與之配套的半導體純水系統(tǒng)要有一定的可調節(jié)性、留有合理的余量,對超純水設備供水的靈活性,安全性,及時性,提出了更高的要求。萊特萊德半導體純水系統(tǒng)投入運行后,能夠生產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水,為半導體用水提供用水保障。
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