超純水設(shè)備在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的優(yōu)勢
半導(dǎo)體是集成電路的物質(zhì)基礎(chǔ),集成電路對現(xiàn)代生活至關(guān)重要,一般消費者每天都在使用半導(dǎo)體。基于半導(dǎo)體的集成電路是技術(shù)的“DNA”,基本上改變了經(jīng)濟的所有領(lǐng)域,從農(nóng)業(yè)和交通到醫(yī)療保健、電信和互聯(lián)網(wǎng)。半導(dǎo)體幾乎應(yīng)用于每一種技術(shù)產(chǎn)品,并支撐著軍事系統(tǒng)。半導(dǎo)體是消費者日常生活中不可或缺的一部分,可以在諸如電燈開關(guān)、車庫門開啟器和冰箱等家居用品中找到,也可以在諸如移動電話、計算機和汽車等更復(fù)雜的產(chǎn)品中找到。
半導(dǎo)體幾乎為經(jīng)濟的每個部門提供動力,包括能源、醫(yī)療保健、農(nóng)業(yè)、消費電子、制造業(yè)、國防和運輸。按用途劃分,全球半導(dǎo)體需求為:移動電話(26%)、信息和通信基礎(chǔ)設(shè)施(包括數(shù)據(jù)中心、通信網(wǎng)絡(luò))(24%);計算機(19%)、工業(yè)(11%)、汽車(10%)和消費電子產(chǎn)品(10%)。在這些不同的應(yīng)用中,直接支持國家安全和關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施的應(yīng)用約占半導(dǎo)體需求的9%。這些關(guān)鍵的半導(dǎo)體終端用途包括國防和航空航天、電信網(wǎng)絡(luò)、能源和公用事業(yè)、醫(yī)療保健和金融服務(wù)。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水用于晶圓沖洗、化學(xué)稀釋、化工機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕等多種場合,超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的良品率。超純水設(shè)備采用獨特的靶向離子交換系統(tǒng)去除超純水中的硼離子,可以將硼離子含量穩(wěn)定的控制在3PPT以下,采用獨有工藝可以控制在1PPT以下,同時連續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。目前廣泛應(yīng)用于晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍、試劑稀釋、氟化工等領(lǐng)域。
超純水設(shè)備是采用反滲透系統(tǒng)、EDI裝置和拋光混床工藝,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度。超純水設(shè)備的EDI處理裝置廢水產(chǎn)出量少,不會對環(huán)境造成污染,具有非常高的環(huán)境效益和經(jīng)濟效益。精混床經(jīng)過技術(shù)升級后,無需任何多余操作即可穩(wěn)定運行,出水水質(zhì)可以滿足芯片生產(chǎn)用水的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。
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