為什么半導(dǎo)體加工生產(chǎn)中會應(yīng)用到超純水?
我們都知道,半導(dǎo)體在加工生產(chǎn)的過程中會需要一定量的超純水,對于其品質(zhì)的要求也是極高的。那什么是超純水呢?超純水是指一種電阻率達到18 MΩ*cm的一種水,這類水幾乎沒有什么雜質(zhì),不含有任何細菌、病毒等有機物,完全可用在半導(dǎo)體領(lǐng)域。這樣的超純水普通工藝基本很難制取出來,并且對于超純水制取的標準也是極其嚴格的。
對比傳統(tǒng)超純水生產(chǎn)工藝,現(xiàn)如今應(yīng)用的超純水設(shè)備多是采用膜技術(shù),再應(yīng)用反滲透+EDI系統(tǒng)+拋光混床相結(jié)合的工藝來制取超純水,具有運行成本低,運行可靠的優(yōu)點,出水水質(zhì)符合國家電子級超純水標準GBT11446.1-2013EW-Ⅰ標準。
超純水設(shè)備引人注目的優(yōu)點:
1、有效降低水質(zhì)的離子含量
EDI是一種將離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù),無需酸堿再生,是一種新型的脫鹽方式。EDI無需再生化學(xué)品的再生,運行成本低,EDI系統(tǒng)的自動化程度很高,連續(xù)工作,出水水質(zhì)好且穩(wěn)定,出水電阻率≥15MΩ·CM。
2、高品質(zhì)高回收率
設(shè)備采用曲線微導(dǎo)力技術(shù),應(yīng)用超純水膜元件,在拋光段采用陶氏進口拋光樹脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹脂,在保證系統(tǒng)高回收率的同時,有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。
3、自動化程度高、運行費用低
自動化程度高,遇故障立即自停,具有自動保護功能,且能耗低、水利用率高、運行成本低。
超純水設(shè)備因其結(jié)構(gòu)設(shè)計比較緊湊,占地面積小,可以為企業(yè)節(jié)省大量的空間得到了許多半導(dǎo)體行業(yè)的歡迎??蓮V泛運用于電子芯片、集成電路及封裝、光伏、晶圓、科研、航空航天、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
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編輯:虞美人 技術(shù):米
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